PIRELLI LABS OPTICAL INNOVATION L A B S M. Romagnoli Integrated Optics: basic building block Lower Clad Oxide wgwg Silicon Substrate Upper clad conformal oxide RI= n core 2 -n clad 2 /2 n core 2 RI= n core 2 -n clad 2 /2 n core 2 Material RI RI Waveguide Size Curvature SiO 2 (Ge) 0.7% 4.5X4.5 µm 2 7 mm SiO 2 (Ge) 2.5% 2.5X2.5 µm mm SiON7% 2.2X2.2 µm µm Si 3 N 4 35%submicron 7 µm SOI41% Deep- submicron 2.5 µm 150 mm
PIRELLI LABS OPTICAL INNOVATION L A B S M. Romagnoli Piattaforma Tecnologica Pirelli Clean Room di classe 10 Capacità di fabbricazioni sub micron: litografia E-beam ed ottica Deposizioni di: SiO2, SiN, etc Banchi di allineamento automatico e di fiber pigtail Tecnologie di packaging avanzato: laser welding etc. Piattaforme disponibili: SOI, Glass,...
PIRELLI LABS OPTICAL INNOVATION L A B S M. Romagnoli Funzionalità per la fotonica integrata laser sintonizzabile circuiti ottici integrati (PLC) a basso (SiO2, SiON) ed alto salto dindice (SOI, SiN) filtri fissi e sintonizzabili filtri per compensazione di dispersione switch (termo-ottico) microriscaldatori per controllo termico PLC e sintonizzazione filtri/switch etc. integrazione ibrida di laser e fotodiodi pigtail & packaging di chip