Nanostrutture magnetiche S. Tacchi, M. Madami, G. Gubbiotti, G. Carlotti CNISM-Unità di Perugia CNR-IOM -Unità di Perugia Dipartimento di Fisica, Università di Perugia http://ghost.fisica.unipg.it
Nanostrutture magnetiche Patterned structures Dot arrays Antidot arrays
Dot arrays D=100nm a=840nm t=20nm b=560nm w=160nm t=60nm D=70nm 1 mm L=450 nm D=70nm w=200nm 0.5 mm
Antidot arrays Distanza centro-centro=400nm Spessore=30nm D=250nm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm Spessore=30nm D1=300nm D2=150nm Distanza centro-centro=425nm
Processo litografico Resist Resist positivo Spinning Substrato Più solubile dopo l’esposizione Resist negativo Meno solubile dopo l’esposizione Cross-link Esposizione Sviluppo Deposizione Film Lift-off
(Magnetic Random Access Memory) Nanostrutture magnetiche Disk read head Magnetic sensors MRAM (Magnetic Random Access Memory)
Nanomagnetic logic Magnonic crystals Strutture artificiali con proprietà magnetiche modulate 1D 2D 3D
Ni80Fe20 Dot Spessore=15nm e=1 e=1.5 e=2 M/MS M/MS a=200nm a=200nm b=300nm a=200nm b=400nm
Ni80Fe20 Dot Spessore=50 nm Spessore=20 nm w = 450 L = 700 nm 0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 mm 20 30 40 50 60 70 80 nm w = 450 L = 700 nm
Ni80Fe20 Dots Spessore=40 nm 1025 nm 450 mm 90 nm 90 nm 0.5 mm 0.5 mm
Ni80Fe20 Dots H
Strutture bicomponenti Ni80Fe20 WCo WPy 1 μm WCo WPy 1 μm Ni80Fe20 = 160 nm Co=160nm Ni80Fe20 = 560 nm Co=160nm Ni80Fe20 = 640 nm Co=160nm
Strutture bicomponenti Ni80Fe20 H