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Memorie a Semiconduttore
Circuiti Integrati Digitali L’ottica del progettista Jan M. Rabaey Anantha Chandrakasan Borivoje Nikolic Memorie a Semiconduttore
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Classificazione delle memorie
Non Volatili Memoria a lettura e scrittura Memorie a sola lettura Accesso Accesso EPROM ROM programmate a livello di maschera Casuale Non Casuale 2 E PROM SRAM FIFO FLASH ROM Programmabili (PROM) LIFO DRAM Registri a scorrimento CAM
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Celle di memoria a sola lettura
BL BL BL VDD WL WL WL 1 BL BL BL WL WL WL GND ROM a diodo ROM a MOS (1) ROM a MOS (2)
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ROM a MOS con struttura OR
BL [0] BL [1] BL [2] BL [3] WL [0] V DD WL [1] WL [2] V DD WL [3] V bias dispositivi di Pull-down
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ROM a MOS con struttura NOR
V DD Dispositivi di Pull-up WL [0] GND WL [1] WL [2] GND WL [3] BL [0] BL [1] BL [2] BL [3]
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Layout di una ROM-NOR Programmazione mediante la regione attiva
Cella (9.5l x 7l) Programmazione mediante la regione attiva Polisilicio Metal1 Diffusione Metal1 sopra una diffusione
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Layout di una ROM-NOR Programmazione mediante la maschera dei contatti
Cella (11l x 7l) Programmazione mediante la maschera dei contatti Polisilicio Metal1 Diffusione Metal1 sopra una diffusione
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ROM a MOS con struttura NAND
V DD Dispositivi di Pull-up BL [0] BL [1] BL [2] BL [3] WL [0] WL [1] WL [2] WL [3] Tutte le wordline sono alte ad eccezione della riga selezionata
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Layout di una ROM-NAND Programmazione mediante Metal1 Cella (8l x 7l)
Non è necessario alcun contatto verso massa o VDD Dimensione della cella drasticamente ridotta Perdita in prestazioni Polisilicio Diffusione Metal1 sopra Diffusione
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Layout di una ROM-NAND Programmazione mediante la tensione di soglia
Cella (5l x 6l) Programmazione mediante la tensione di soglia Polisilicio MOS con soglia modificata Metal1 su Diffusione
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Modello dinamico per una cella di ROM-NOR
V DD C bit r word c WL BL Parametri della Wordline Capacità della pista + capacità di gate Resistenza della pista (polysilicio) Parametri della Bitline Resistenza (spesso trascurabile) della pista di metallo Capacità di drain e gate-drain
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Modello dinamico per una cella di ROM-NAND
V DD BL C r L bit c r bit WL word c word Parametri della Wordline Simile alla struttura NOR Parametri della Bitline Resistenza della serie di transistor (dominate) Capacità di drain/source
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Memorie Non Volatili Il Transistor a gate flottante (FAMOS)
Gate di controllo G S D Source Drain t ox t ox n + p n + Substrato Simbolo Sezione trasversale
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MOS a Gate Flottante: programmazione
20 V 10 V 5 V D S Iniezione di portatori caldi 0 V -5 V D S Rimuovendo la tensione di programmazione, il FG rimane carico 5 V -2.5 V D S Il MOS programmato ha una tensione di soglia maggiore di quella nominale
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Caretteristiche del MOSFET a gate flottante
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Cella EEPROM: transistor FLOTOX
Gate Flottante Gate di Controllo I Source Drain V 20 – 30 nm -10 V GD 10 V n + n + Substrato p 10 nm Corrente di tunnel Fowler-Nordheim Transistor FLOTOX
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Cella EEPROM BL WL Il controllo esatto della tensione di soglia è difficile da ottenere I transistor non programmati potrebbero essere a svuotamento 2 transistor per cella V DD
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Cella Flash EEPROM Gate di controllo n drain programmazione
Gate flottante cancellazione Ossido di tunnel n + source n + drain programmazione Substrato p
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Sezione trasversale di una cella di memoria non volatile
Flash EPROM Gentile concessione di Intel
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Memoria Flash con struttura NOR: cancellazione
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Memoria Flash con struttura NOR: programmazione
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Memoria Flash con struttura NOR: lettura
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Memoria Flash con struttura NAND
Word line (polisilicio) Cella elementare Source line (diffusione) Gentile concessione di Toshibac
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Memoria Flash con struttura NAND
Transistor di selezione Wordline Area Attiva STI Contatto di Bitline Contatto di Sourceline Gentile concessione di Toshiba
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Memorie a scrittura e lettura (RAM)
STATICHE (SRAM) L’informazione è mantenuta finchè la cella è alimentata Grande (6 transistor/cella) Veloce Uscita differenziale DINAMICHE (DRAM) Refresh periodico Piccola (1-3 transistor/cella) Lenta Uscita singola
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Cella SRAM CMOS a 6-transistor
WL V DD M M 2 4 Q Q M M 6 5 M M 1 3 BL BL
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Cella SRAM: scrittura V M WL BL M BL Q = Q = 1 M M V V V C C DD 4 6 5
Q = 1 M 6 M 5 V M V DD 1 DD V DD C C bit bit
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Cella SRAM: scrittura BL = 1 Q M 4 5 6 V DD WL
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Layout di una cella SRAM a 6T
VDD GND Q WL BL M1 M3 M4 M2 M5 M6
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Cella SRAM a 4 transistor
WL V DD R R L L Q Q M M 3 4 BL M M BL 1 2 Consumo statico RL grande Precaricare le BL a VDD per ridurre tp
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Cella DRAM a 3 Transistor
WWL BL 1 M X 3 2 C S RWL V DD D -V T Nessun vincolo sulle dimensioni dei dispositivi Lettura non distruttiva Potenziale del nodo X quando è memorizzato “1” = VWL – Vtn
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Layout della cella DRAM 3T
BL2 BL1 GND RWL WWL M3 M2 M1
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Cella DRAM a 1 Transistor
Scrittura: CS è caricata o scaricata abilitando la WL e ponendo la BL al valore desiderato Lettura: La BL viene precaricata ad una tensione intermedia, la WL è abilitata. In seguito alla ridistribuzione di carica tra CS e la BL si legge una variazione della tensione della BL D V BL PRE – BIT C S + = L’escursione sulla BL è piccola, tipicamente ~250 mV.
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Osservazioni sulle memorie DRAM-1T
Le DRAM-1T richiedono un Sense Amplifier per ciascuna BL, a causa della ridistribuzione di carica durante la lettura. Le celle DRAM sono ad uscita singola al contrario delle SRAM che hanno uscita differenziale. La lettura della cella DRAM è distruttiva; è necessaria l’operazione di refresh dopo per il corretto funzionamento. Contrariamente alla cella a 3T, quella a 1T richiede la presenza di una capacità addizionale. Scrivendo un “1” in una cella DRAM, si perde una tensione di soglia a causa dell’effetto body. La caduta di tensione può essere compensata con un circuito di “bootstrap” che abiliti la WL con una tensione maggiore di VDD
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Ruolo del Sense Amplifier
V (1) (0) t PRE BL Attivazione del SA Attivazione della WL
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Cella DRAM 1T Sezione trasversale Layout
Condensatore Wordline Metal 1 Wordline (Metal) SiO 2 Poly Ossido di campo n + n + Bitline diffusa Strato di inversione Poly Polisilicio Polisilicio (elettrodo) (gate) Sezione trasversale Layout Uses Polysilicon-Diffusion Capacitance Expensive in Area
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Immagine SEM di una cella DRAM 1T
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Moderna cella DRAM a 1T Capacità a stack Cella a trincea
Word line Cell plate Capacitor dielectric layer Insulating Layer Elettrodo di Si Dielettrico Transfer gate Isolation Poly di riempimento Storage electrode Elettrodo in Poly-Si Substrato 2° ossido di campo Cella a trincea Capacità a stack
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Circuiti Periferici Decodificatori Sense Amplifier Buffer di I/O
Circuiti di controllo e temporizzazione
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Memory Architecture: Decoders
bit M bit S S Word 0 Word 0 S 1 Word 1 A Word 1 S 2 Word 2 cella A Word 2 cella 1 N parole Decoder A S K - 1 N - 2 Word N - 2 Word N - 2 S N - 1 Word N - 1 Word N - 1 K = log N 2 I/O I/O ( M bit) ( M bit) Struttura intuitiva di una memoria N x M Troppi segnali di selezione N parole N segnali di selezione K = log 2 N Il decodificatore riduce il numero di segnali
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Memoria con struttura a matrice
Amplifica l’escursione logica tra 0 e VDD Seleziona la parola appropriata
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Struttura gerarchica di una memoria
Vantaggi: 1. Interconnessioni più corte all’interno di un blocco 2. L’indirizzo di blocco attiva un solo blocco alla volta risparmio energetico
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Decoders
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Decodificatore di riga
Composto da 2M porte logiche organizzate e disposte in modo regolare e compatto Decodificatore a (N)AND Decodificatore a NOR
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Decodificatore con struttura gerarchica
Implementare il decodificatore in più stadi migliora le prestazioni • • • WL 1 WL A A A A A A A A A A A A A A A A 1 1 1 1 2 3 2 3 2 3 2 3 • • • Decodificatore a NAND con uno stadio di predecodifica a 2 ingressi A A A A A A A A 1 1 3 2 2 3
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Decodificatore di colonna a 4 ingressi realizzato con pass-transistorr
S BL 1 2 3 D 2-input NOR decoder Vantaggi: velocità (il tempo di propagazione del decodificatore non si somma al tempo complessivo di accesso alla memoria C’è un solo transistor lungo il percorso del segnale Svantaggi: Molti transistor
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Decodificatore di colonna ad albero
BL BL BL BL 1 2 3 A A A 1 A 1 D Il numero di transistor è notevolmente ridotto Il ritardo aumenta con il quadrato della del numero di ingressi: proibitivo per decoder di grandi dimensioni Soluzioni: Usare buffer Dimensionamento progressivo Struttura combinata albero - pass-transistor
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Sense Amplifiers Idea: Usare un sense amplifier piccola escursione
Rendere V più piccolo possibile C × D V t = p I av grande piccolo Idea: Usare un sense amplifier piccola escursione S.A. ingresso uscita
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Sense Amplifier differenziale
V DD M M 3 4 y Out bit M M bit 1 2 SE M 5 Applicabile direttamente alle SRAM
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S.A. Differenziale in una SRAM
V DD BL EQ Sense Amp. Diff. (a) Lettura di una SRAM (b) Sense amplifier differenziale a due stadi Cella SRAM i WL 2 x Uscita PC M 3 1 5 4 SE y
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Uso di un latch come sense amplifier
EQ BL BL V DD SE SE Precaricato nel punto di lavoro instabile tramite il segnale EQ Quando il segnale di ingresso è abbastanza ampio, il s.a. viene abilitato da SE La retroazione positiva porta il s.a. in uno dei due punti stabili.
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