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Nanostrutture magnetiche
S. Tacchi, M. Madami, G. Gubbiotti, G. Carlotti CNISM-Unità di Perugia CNR-IOM -Unità di Perugia Dipartimento di Fisica, Università di Perugia
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Nanostrutture magnetiche
Patterned structures Dot arrays Antidot arrays
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Dot arrays D=100nm a=840nm t=20nm b=560nm w=160nm t=60nm D=70nm 1 mm
L=450 nm D=70nm w=200nm 0.5 mm
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Antidot arrays Distanza centro-centro=400nm Spessore=30nm D=250nm
0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm 0.5 mm Spessore=30nm D1=300nm D2=150nm Distanza centro-centro=425nm
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Processo litografico Resist Resist positivo Spinning Substrato
Più solubile dopo l’esposizione Resist negativo Meno solubile dopo l’esposizione Cross-link Esposizione Sviluppo Deposizione Film Lift-off
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(Magnetic Random Access Memory)
Nanostrutture magnetiche Disk read head Magnetic sensors MRAM (Magnetic Random Access Memory)
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Nanomagnetic logic Magnonic crystals
Strutture artificiali con proprietà magnetiche modulate 1D 2D 3D
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Ni80Fe20 Dot Spessore=15nm e=1 e=1.5 e=2 M/MS M/MS a=200nm a=200nm
b=300nm a=200nm b=400nm
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Ni80Fe20 Dot Spessore=50 nm Spessore=20 nm w = 450 L = 700 nm
mm nm w = 450 L = 700 nm
10
Ni80Fe20 Dots Spessore=40 nm 1025 nm 450 mm 90 nm 90 nm 0.5 mm 0.5 mm
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Ni80Fe20 Dots H
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Strutture bicomponenti
Ni80Fe20 WCo WPy 1 μm WCo WPy 1 μm Ni80Fe20 = 160 nm Co=160nm Ni80Fe20 = 560 nm Co=160nm Ni80Fe20 = 640 nm Co=160nm
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Strutture bicomponenti
Ni80Fe20 H
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