Production of 8x8 SiPM matrices

Presentazione sul tema: "Production of 8x8 SiPM matrices"— Transcript della presentazione:

1 Production of 8x8 SiPM matrices
C.Piemonte, M. Melchiorri, A. Piazza, A. Tarolli, N. Zorzi FBK – Fondazione Bruno Kessler, Trento, Italy

2 Production: September – December 2008
12 wafers 5 with standard process 7 with different oxide thickness

3 layout 1.3cm 1.3cm Our largest area monolithic array. 8x8 array
1.5mm element pitch read-out on one side A B C 1.3cm 1.3cm Our largest area monolithic array.

4 A B C Lettura su 1 lato Gap per linee metal: 200um Lettura su 1 lato Gap per linee metal: 300um Lettura su 2 lati

5 Misure IV automatiche su tutti gli elementi degli array.

6 Risultati 5 con standard process. 7 con diverso ossido. OK
Esempio IV matrice 7 con diverso ossido. Esempio IV matrice OK Corrente post BD elevata

7 Risultati Su tutte le fette il difetto piu’ comune e’:
working SiPM. The current can be roughly modeled as I=q*DC*G Vbd SiPM with 1 defective cell. The current can be modeled as I=(V-Vbd)/Rq

8 DaSiPM2 Arrays, IV Mappa delle tensioni di breakdown
Rosso=dispositivi a BD basso 8 array totalmente funzionanti

9 Altro esempio con resa piu’ bassa 0 array totalmente funzionanti

10 Conclusioni Tra le 5 fette a corrente migliore abbiamo estratto:
32           matrici con tutti elementi funzionanti 22           con 1 elemento non funzionante 8             con 2 elementi non funzionanti

11 Connessione 3D Deep RIE finalmente OK. Iniziato R&D:
Disegnato maschera per realizzare i fori; Pensato a possibili strategie per la connessione all’interno del foro. Il secondo punto non e’ banale!!