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Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici The TI Digital Micromirror 10 um TO PROJECTOR Electrode 1 Electrode 2 Conducting Plate More capacitors! V +-+- V +-+-

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici BioMEMS Implantable Drug Delivery System (ChipRX, Lab on a Chip STMicroelectronics,

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici My life in MEMS Static charge sensor Microchemical reactor Chemical analysis on the micro scale Switches for microwave communications Thermal control for satellites Microrobotics

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Optical Applications Peter Fairley, “The Microphotonics Revolution,” Technology Review, July-August 2000 UC Davis Optical switches Chemical detection Micro-optical benches MIT, Sandia, Honeywell: polychrometer

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Parte II

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Sensore di temperatura a termocoppia

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Sensore di temperatura ed attuatore

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Sensore di temperatura a doppio risuonatore

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici La variazione della costante di elettrica del dielettrico (poliammide) provoca una variazione di capacità a causa dell’assorbimento di molecole di H 2 O e costituisce una misura indiretta del contenuto volumetrico di H 2 O presente nell’aria. Un impiego tipico è quello di verificare il grado di tenuta di confezioni ermetiche. Sensore di umidità capacitivo

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Sensore di umidità capacitivo: realizzazione tecnologica

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Processo di fabbricazione strutture 3D

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Forza di contrasto Misura della rotazione Principio dell’Accelerometro/Giroscopio Suspended Mass MEMS Suspended Mass MEMS

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Schema di accelerometro digitale

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Giroscopio Tuning Fork di Draper Principio di funzionameto Forza di Coriolis

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Tuning fork gyroscopes contain a pair of masses that are driven to oscillate with equal amplitude but in opposite directions. When rotated, the Coriolis force creates an orthogonal vibration that can be sensed by a variety of mechanisms. The Draper Lab gyro, figure 2, uses comb-type structures to drive the tuning fork into resonance, and rotation about either in-plane axis results in the moving masses to lift, a change that can be detected with capacitive electrodes under the mass. Giroscopio Tuning Fork di Draper Principio di funzionameto

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Giroscopio Tuning Fork di Draper 2D

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Giroscopio piezoelettrico a piatto vibrante: principio di funzionamento Il piatto è posto in vibrazione lungo l’asse di simmetria z; Le rotazioni secondo gli assi x ed y provocano una inclinazione del piatto che viene rilevata da sensori capacitivi Con un solo piatto vibrante è possibile rilevare rotazioni su due assi

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Giroscopio piezoelettrico a piatto vibrante When the vibrating plate is rotated about an axis perpendicular to the drive voltage, a voltage is produced in the third perpendicular direction. This output voltage is proportional to the angular velocity. It can be proven that the relationship is: VA is the input voltage magnitude, ρ is the PZT density, ω is the input voltage frequency, t is time, a is the plate length perpendicular to the direction of rotation, c is the plate thickness, d31 and d15 are piezoelectric constants, ε11 is the permittivity constant and Ω is the angular velocity

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Ipad/iPhone 4 gyro motion sensor STM AGD FP6AQ

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Giroscopio ad anello risonante

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Giroscopio ad anello risonante

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Misura della velocità angolare del piede in movimento

Dispense del Corso di Micro- NanoSistemi Elettronici Flussimetro MEMS