CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile Coordinatore scientifico della ricerca Dr.ssa Marzia Traversa CNR – IMM Lecce MINISTERO DELL'ISTRUZIONE, DELL'UNIVERSITA' E DELLA RICERCA BANDO FIRB - PROGRAMMA "FUTURO IN RICERCA" Anno Protocollo: RBFR08279R Fabbricazione di nanopunte di ossidi di metallo mediante "Inductively Coupled Plasma etching" per sensori di gas a principio di rivelazione duale
CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile Lo scopo di questo progetto è di studiare la fattibilità dell'impiego di tecnologie di attacco chimico mediante plasmi ad alta densità per la realizzazione di matrici di nano punte di ossidi metallici (ZnO,TiO2, SnO2) da utilizzare come parte attiva di un nuovo tipo di sensore di gas. La matrice di nano punte (decine di nm di diametro) è progettata per essere il cuore di un sensore di gas duale che combina due diversi principi di rivelazione di gas in una camera MEMS miniaturizzata: a)Un elemento di rivelazione di tipo fisico che si basa sulla ionizzazione del gas b) Un elemento di rivelazione di tipo chimico che si basa sull'adsorbimento del gas Scopo del progetto
CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile Flow-chart del nuovo sensore duale di gas miniaturizzato Schema dettagliato della camera MEMS miniaturizzata
CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile Le attività di ricerca verranno svolte presso i laboratori del CNR-IMM di Lecce e di Bologna e saranno organizzate secondo le seguenti fasi: 1.Fabbricazione del dispositivo 2. Caratterizzazione preliminare della ionizzazione indotta da campo elettrico di matrici di nanopunte di MOX (IMM Bologna) 3. Caratterizzazione elettrica funzionale del sensore di gas in ambiente Attività di ricerca
CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile A carico MIUR A carico del proponente Totale Costo dellattività di ricerca Costo dei contratti (giovani ricercatori) Costo complessivo del progetto di ricerca Dal MIUR allIMM Bologna e un assegno di ricerca triennale di Con di cofinanziamento - con impegno di 12 mesi uomo di R. Angelucci Costi e finanziamenti