CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile 2009 1 Coordinatore scientifico della ricerca Dr.ssa Marzia Traversa CNR – IMM Lecce MINISTERO DELL'ISTRUZIONE,

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1 CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile 2009 1 Coordinatore scientifico della ricerca Dr.ssa Marzia Traversa CNR – IMM Lecce MINISTERO DELL'ISTRUZIONE, DELL'UNIVERSITA' E DELLA RICERCA BANDO FIRB - PROGRAMMA "FUTURO IN RICERCA" Anno 2008 - Protocollo: RBFR08279R Fabbricazione di nanopunte di ossidi di metallo mediante "Inductively Coupled Plasma etching" per sensori di gas a principio di rivelazione duale

2 CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile 2009 2 Lo scopo di questo progetto è di studiare la fattibilità dell'impiego di tecnologie di attacco chimico mediante plasmi ad alta densità per la realizzazione di matrici di nano punte di ossidi metallici (ZnO,TiO2, SnO2) da utilizzare come parte attiva di un nuovo tipo di sensore di gas. La matrice di nano punte (decine di nm di diametro) è progettata per essere il cuore di un sensore di gas duale che combina due diversi principi di rivelazione di gas in una camera MEMS miniaturizzata: a)Un elemento di rivelazione di tipo fisico che si basa sulla ionizzazione del gas b) Un elemento di rivelazione di tipo chimico che si basa sull'adsorbimento del gas Scopo del progetto

3 CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile 2009 3 Flow-chart del nuovo sensore duale di gas miniaturizzato Schema dettagliato della camera MEMS miniaturizzata

4 CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile 2009 4 Le attività di ricerca verranno svolte presso i laboratori del CNR-IMM di Lecce e di Bologna e saranno organizzate secondo le seguenti fasi: 1.Fabbricazione del dispositivo 2. Caratterizzazione preliminare della ionizzazione indotta da campo elettrico di matrici di nanopunte di MOX (IMM Bologna) 3. Caratterizzazione elettrica funzionale del sensore di gas in ambiente Attività di ricerca

5 CNR – IMM Bologna R. Angelucci Bologna, 16 Aprile 2009 5 A carico MIUR A carico del proponente Totale Costo dellattività di ricerca 551.153236.209787.362 Costo dei contratti (giovani ricercatori) 139.500 Costo complessivo del progetto di ricerca 690.653236.209926.862 Dal MIUR allIMM Bologna 235.000 e un assegno di ricerca triennale di 67.980 Con 97.000 di cofinanziamento - con impegno di 12 mesi uomo di R. Angelucci Costi e finanziamenti