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多晶硅行业现状及工艺过程介绍 江苏中能硅业科技发展有限公司 郑跃 河南信阳 2011-7-21. 目 录 2. 中国多晶硅的技术突破 3. 多晶硅的规模效应 4. 多晶硅项目特点 1. 多晶硅行业现状.

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1 多晶硅行业现状及工艺过程介绍 江苏中能硅业科技发展有限公司 郑跃 河南信阳 2011-7-21

2 目 录 2. 中国多晶硅的技术突破 3. 多晶硅的规模效应 4. 多晶硅项目特点 1. 多晶硅行业现状

3 制备多晶硅主要方法: 改良西门子法 ---- 闭路循环三氯氢硅还原法。 硅烷法 ----- 硅烷热分解法 流化床法 冶金法生产太阳能级多晶硅 --- 物理法

4 改良西门子法工艺流程 氯化合成(制备三氯氢硅) 精馏工序 还原工序,(硅芯制备、硅棒整理) 尾气回收工序( CDI ) 氢化工序 辅助工艺: DCS 控制系统,电力控制系统,氮气制备,氢 气制备、循环水系统,等等

5 2011 年全球十大多晶硅企业分布地图 GCL 46 , 000MT TOKUYAMA1 0,500MT OCI 42,000MT WAKER 42,000MT MEMC 11,000MT REC 15,000MT HEMLOCK 40,000MT MITSUBISH 1,500MT LDK 16,000MT M.SETEK 6,500MT MITSUBISH2,800MT 公司名称国家 产能(万吨 / 年)产量 ( 万吨 / 年 ) 200920102011200920102011 1Hemlock 美国 2.473.604.002.133.303.50 2Wacker 德国 1.823.104.201.552.903.20 3GCL 中国 1.802.104.600.751.803.10 4OCI 韩国 1.052.704.200.551.602.50 5REC 挪威 1.201.80 0.651.201.50 6MEMC 美国 1.151.50 0.701.10 7Tokuyama 日本 0.821.05 0.660.80 8Mitsubishi 日本 0.330.43 0.320.40 9M.Setek 日本 0.300.65 0.280.440.45 10LDK 中国 0.601.101.600.250.401.00 合计 11.5418.0324.037.8413.9417.55

6 重慶重慶 [ 四川樂山,新光 1260 噸 ] [ 樂電天威 3000 噸 ] [ 天威新津 3000 噸 ] 江 蘇 [ 湖北宜昌南玻 1500 噸 ] [ 随州齐星 1500 吨 ] [ 青海,亞洲硅業 1500+3000 噸 黄河水电 1250 吨 ] [ 陝西 天宏 1500 噸 ] [ 河南 洛陽中硅 3000 噸 ] [ 內蒙古,呼和浩特 神舟硅業 1500 噸 +3000 吨 ] 寧夏石嘴山 陽光硅業 1000 噸 国电宁夏 2500 吨 揚州,順大 1500 噸 無錫,中彩 500 噸 连云港, 中彩 1500 吨 萬州大全 1500+3500 噸 四川峨眉東汽 739 廠 200 吨 +500 噸 +1500 噸 樂山永祥 1000 噸 眉山瑞能 1500 噸 +1500 噸 雅安永旺 2X300 噸 安陽林州 300+3000 噸 焦作王封 300+1500 噸 鹽城,特華 500 噸 徐州,中能 46,000 噸 [ 內蒙古,鄂爾多斯 多晶硅 3000 噸 ] [ 内蒙古锋威 1500 吨 ] [ 烏魯木齊,特變電 工多晶硅 1500 噸 ] 2012 年投产: 陕西榆林天宏 3000 吨 四川乐山永祥 3000 吨 新疆特变电工 3000 吨 新疆石河子大全 5000 吨 内蒙古盾安环境 3000 吨 2011 中國多晶硅地图 ( 31 個項目,產能 126,550 噸) [ 江西新餘 LDK16000 噸 [ 景德鎮 1500 噸 ] 浙江嘉兴协 成 1500 吨 云南曲靖 3000 吨

7 目录目录 1. 多晶硅行业现状 3. 多晶硅的规模效应 4. 多晶硅项目特点 2. 中国多晶硅的技术突破

8 以氢化为突破的闭路循环大型高效还原炉能量回收利用技术 多晶硅的技术突破

9 目录目录 2. 中国多晶硅的技术突破 1. 多晶硅行业现状 4. 多晶硅项目特点 3. 多晶硅的规模效应

10 多晶硅的规模效应 2008 年 2 条 1500 吨生产线 2009 年 3 条 5000 吨生产线 2010 年 3 条 6500 吨生产线(改造) 2011 年单线产能万吨以上 单线万吨 一个单体三个以上生产线 各单元轮流检修 某个单元停车对其他单元影响较小 单体多线

11 目录目录 2. 中国多晶硅的技术突破 3. 多晶硅的规模效应 1. 多晶硅行业现状 4. 多晶硅项目特点

12 多晶硅的项目特点 1 化工机械 化工工艺 化工安全 化工人才 化工管理 “ 大化工 ” 理念

13 多晶硅的项目特点 2 改良西门子法 用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然 后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行 CVD 反应生产高纯多晶 硅。 硅烷法 硅烷( SiH4 )是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制 取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。 流化床法 以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内(沸腾床)高温高压下生成三氯氢硅, 将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅,继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有 小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应,生成粒状多晶硅产品。 冶金法 选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭,去除硅锭中金属杂质聚集 的部分和外表部分后,进行粗粉碎与清洗,在等离子体融解炉中去除硼杂质,再进行第二次水 平区熔单向凝固成硅锭,去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分,经粗粉碎与 清洗后,在电子束融解炉中去除磷和碳杂质,直接生成太阳能级多晶硅。 主要方法

14 多晶硅的项目特点 3 工艺流程 TCS 制备 (氢化) TCS 精馏 CVD 还原尾气回收 氯硅烷 四氯化硅 氢气 辅助系统:硅芯制备、 DCS 控制系统、电力控制系统、氮气制备、氢气制备、公 用系统、尾气处理、污水处理等

15 多晶硅的项目特点 4 主要设备 氢化工序 STC 汽化 塔 流化 床反 应器 氢气 压缩 机 换热 器 粗分 塔 精馏工序 精馏 塔 换热 器 中间 储罐 尾气回收 吸附 塔 氢气 压缩 机 制冷 机 CVD 还原 还原 炉 废热 锅炉 尾气 换热 器

16 谢谢各位!


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