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C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 1 Production of 8x8 SiPM matrices C.Piemonte, M. Melchiorri, A. Piazza, A. Tarolli, N. Zorzi FBK – Fondazione Bruno.

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1 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 1 Production of 8x8 SiPM matrices C.Piemonte, M. Melchiorri, A. Piazza, A. Tarolli, N. Zorzi FBK – Fondazione Bruno Kessler, Trento, Italy

2 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 2 Production: September – December wafers5 with standard process 7 with different oxide thickness

3 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 3 layout 1.3cm 8x8 array 1.5mm element pitch read-out on one side Our largest area monolithic array. A B C

4 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 4 A B C Lettura su 1 lato Gap per linee metal: 200um Lettura su 1 lato Gap per linee metal: 300um Lettura su 2 lati

5 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 5 Misure IV automatiche su tutti gli elementi degli array. IV automatiche su tutti gli elementi degli array.

6 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 6 Risultati 5 con standard process. Esempio IV matrice 7 con diverso ossido. Esempio IV matrice OK Corrente post BD elevata

7 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 7 Risultati Su tutte le fette il difetto piu comune e: working SiPM. The current can be roughly modeled as I=q*DC*G SiPM with 1 defective cell. The current can be modeled as I=(V-Vbd)/Rq Vbd

8 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 8 DaSiPM2 Arrays, IV Mappa delle tensioni di breakdown Rosso=dispositivi a BD basso 8 array totalmente funzionanti

9 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 9 Altro esempio con resa piu bassa 0 array totalmente funzionanti

10 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia 10 Tra le 5 fette a corrente migliore abbiamo estratto: 32 matrici con tutti elementi funzionanti 22 con 1 elemento non funzionante 8 con 2 elementi non funzionanti Conclusioni

11 C. Piemonte meeting DaSiPM2 - Perugia Connessione 3D Deep RIE finalmente OK. Iniziato R&D: Disegnato maschera per realizzare i fori; Pensato a possibili strategie per la connessione allinterno del foro. Il secondo punto non e banale!!


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