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S. Tacchi, M. Madami, G. Gubbiotti, G. Carlotti CNISM-Unità di Perugia CNR-IOM -Unità di Perugia Dipartimento di Fisica, Università di Perugia Nanostrutture.

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Presentazione sul tema: "S. Tacchi, M. Madami, G. Gubbiotti, G. Carlotti CNISM-Unità di Perugia CNR-IOM -Unità di Perugia Dipartimento di Fisica, Università di Perugia Nanostrutture."— Transcript della presentazione:

1 S. Tacchi, M. Madami, G. Gubbiotti, G. Carlotti CNISM-Unità di Perugia CNR-IOM -Unità di Perugia Dipartimento di Fisica, Università di Perugia Nanostrutture magnetiche

2 Nanostrutture magnetiche Antidot arrays Dot arrays Patterned structures

3 L=450 nm =70nm Dot arrays 1 m W 1 =330 nm W 2 =530 nm t=60nm =70nm 0.5 m t=30nm =55nm w=200nm 1 m D=600nm t=50nm 1 m =100nm a=840nm t=20nm b=560nm w=160nm 0.2 m =330nm t=20nm D=710nm

4 Antidot arrays D 1 =300nm Distanza centro-centro=400nm Spessore=30nm 0.5 m Spessore=30nm D 2 =150nm D=250nm Distanza centro-centro=425nm

5 Processo litografico Esposizione Sviluppo Spinning Resist Substrato Lift-off Deposizione Film Resist positivo Più solubile dopo lesposizione Resist negativo Meno solubile dopo lesposizione Cross-link

6 MRAM (Magnetic Random Access Memory) Disk read head Magnetic sensors Nanostrutture magnetiche

7 Nanomagnetic logic Magnonic crystals Strutture artificiali con proprietà magnetiche modulate 1D2D 3D

8 200 nm a=200nm b=300nm M/M S Spessore=15nm 200 nm a=200nm b=400nm 200 nm Ni 80 Fe 20 Dot

9 m nm Ni 80 Fe 20 Dot Spessore=50 nmSpessore=20 nm w = 450 L = 700 nm

10 1025 nm 450 mm 0.5 m 90 nm 0.5 m 90 nm 0.5 m 660 nm Spessore=40 nm Ni 80 Fe 20 Dots

11 H

12 Ni 80 Fe 20 Ni 80 Fe 20 = 160 nm Co=160nm Co Ni 80 Fe 20 Ni 80 Fe 20 Ni 80 Fe 20 = 560 nm Co=160nm Ni 80 Fe 20 Ni 80 Fe 20 = 640 nm Co=160nm W Co W Py 1 μm W Co W Py 1 μm Strutture bicomponenti

13 Co Ni 80 Fe 20 H


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