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Strumentazione e caratterizzazione dei materiali e dei dispositivi Mauro Mosca (www.dieet.unipa.it/tfl/people) Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria.

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1 Strumentazione e caratterizzazione dei materiali e dei dispositivi Mauro Mosca (www.dieet.unipa.it/tfl/people) Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DEIM) A.A Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DEIM)

2 Amplificatore Lock-in Misura resistenza di contatto Diffrattometro a raggi X

3 Amplificatore Lock-in

4

5

6 f Example of noise spectrum

7 Amplificatore Lock-in

8

9 Chopper

10 Amplificatore Lock-in e chopper

11 Resistenza di contatto

12 Resistenza di contatto. Geometria laterale

13 Resistenza di contatto. Definizione

14 Transmission Line Method (TLM)

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18 Diffrazione a raggi X (XRD) interazione tra fascio di elettroni e target metallico (bremsstrahlung)

19 Diffrazione a raggi X (XRD)

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21 Diffrazione a raggi X (XRD): Legge di Bragg Legge di Bragg

22 Diffrazione a raggi X (XRD): metodi - Metodo di Laue (  costante, variabile) - Metodo delle polveri ( costante,  variabile) anche per film policristallini

23 Diffrazione a raggi X (XRD): diffrattometro (solidale con la fenditura)

24 Diffrazione a raggi X (XRD): diffrattometro alla Bragg-Brentano

25 Diffrazione a raggi X (XRD):  -2  scan

26 Diffrazione a raggi X (XRD): texture e mosaicità (  -scan) Si fissa l’angolo 2  e si effettua una scansione in  Si può così conoscere la ripartizione dei piani angolari così osservati orientazione preferenziale (o texture) frazione volumetrica del cristallo che presenta orientazione non-random rocking curve larga in caso di forte disorientazione dei piani cristallini (bassa texture) FWHM grani ad orientazione parallela al substrato risultano disorientati l’uno rispetto all’altro La mosaicità NON è rivelabile con la rocking curve!

27 Diffrazione a raggi X (XRD):  -scan  -2  -scan  -scan (rocking curve)

28 Diffrazione a raggi X (XRD): goniometro a 4 cerchi (  -scan)

29 Diffrazione a raggi X (XRD):  -scan Figura dei poli

30 Diffrazione a raggi X (XRD): legge di Scherrer: Deformazioni reticolari legge di Scherrer allargamento dovuto alla dimensione dei grani cristalliti


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