La presentazione è in caricamento. Aspetta per favore

La presentazione è in caricamento. Aspetta per favore

SEM Scanning Electron Microscope. 10 Å500 µm1 mm1 µm100 nm planctonatomi batterio virus cristallo AFM TEM SEM microscopio ottico.

Presentazioni simili


Presentazione sul tema: "SEM Scanning Electron Microscope. 10 Å500 µm1 mm1 µm100 nm planctonatomi batterio virus cristallo AFM TEM SEM microscopio ottico."— Transcript della presentazione:

1 SEM Scanning Electron Microscope

2 10 Å500 µm1 mm1 µm100 nm planctonatomi batterio virus cristallo AFM TEM SEM microscopio ottico

3 Microscopio elettronico in scansione

4

5 FEG (Field Emission Gun) 100 V - 30 kV Risoluzione: 1.5 nm a 20 kV Ingrandimenti fino a

6 Filamento di tungsteno Filamento di LaB 6 FEG

7 SEM Cathode Comparison Tungsten filament LaB 6 Field Emission Apparent Source Size 100 micrometers 5 micrometers<100 Angstroms Brightness 1 A/cm 2 steradian A/cm 2 steradian A/cm 2 steradian Vacuum Required Torr10 -6 Torr10 -9 Torr

8 Microscopi elettronici Utilizzano un fascio incidente di elettroni che interagisce con il campione SEM TEM

9 Segnali ottenuti Elettroni secondari: urti anelastici Elettroni retrodiffusi: urti elastici

10 Il coefficiente di retrodiffusione cambia in funzione del numero atomico (Z) e dellenergia del fascio incidente (E i ) Elettroni retrodiffusi Subiscono urti elastici elastici e anelastici Gli elettroni retrodiffusi danno informazioni soprattutto sulla COMPOSIZIONE del campione e, in minor misura, sulla morfologia del campione

11 Elettroni secondari generati da elettroni primari e retrodiffusi prodotti in seguito a urti anelastici emergono da profondità inferiori a 10 nm Gli elettroni secondari danno informazioni soprattutto sulla MORFOLOGIA del campione e, in minor misura, sulla composizione del campione

12 Confronto fra il coefficiente di retrodiffusione (η) e il coefficiente di emissione degli elettroni secondari (δ)

13 informazioni sulla composizione del campione elettroni retrodiffusi elettroni secondari informazioni sulla morfologia del campione

14 Distribuzione spaziale degli elettroni nel campione

15 Profondità di penetrazione Elettroni retrodiffusi Al0.7 µm Au0.07 µm Elettroni secondari Al50 nm Au5 nm Raggi X Al2 µm Au0.2 µm Fascio incidente = 20 kV

16 ESEM (Environmental SEM) SEM VP (SEM Variable Pressure) BEATLE

17 20 µm elettroni secondari

18

19

20


Scaricare ppt "SEM Scanning Electron Microscope. 10 Å500 µm1 mm1 µm100 nm planctonatomi batterio virus cristallo AFM TEM SEM microscopio ottico."

Presentazioni simili


Annunci Google